Opt-scope Rex
0.01mm의 고분해능으로 고속 측정.
좁은 범위의 미세 조도부터 광범위한 물결 형상 분석까지, 폭넓게 응용 가능.
Opt-scope Rex
대형 워크피스의 표면 특성을 나노 레벨로 측정 가능한
3D 백색 간섭 현미경
고분해능, 고속, 광범위. 2D/3D 표면 조도 및 결함, 미세 형상을 단시간에 고정밀 평가 가능한 Opt-scope 시리즈에 대형, 고중량 워크피스를 수용하는 대형 타입이 추가되었습니다.
3D 백색 간섭 현미경 Opt-scope는
고분해능. 고속. 광범위.
3D 백색 간섭 현미경 Opt-scope는 렌즈 배율에 관계없이 수직 방향으로 일률 0.01mm의 고분해능. 따라서 나노 표면 특성 평가에도 저배율 렌즈를 사용할 수 있으며 한 번의 촬영으로 넓은 범위를 고속, 고분해능 측정이 가능합니다. 레이저 현미경 및 기타 비접촉 측정 원리로는 측정하기 어려운 서브나노 표면 조도, 투명체, 고 종횡비 구조를 높은 재현성으로 측정합니다.
다양한 워크피스 사이즈에 부합하는 맞춤형 제작
Opt-scope는 워크피스 사이즈에 따른 라인업을 갖추고 있습니다. 전동 XY 스테이지의 구동 범위가 25㎟, 50㎟를 선택 가능한 표준 타입 R, 200㎟인 R200, 400㎟부터 최대 600㎟까지 확장 가능한 특수 대응 대형 타입 Rex가 라인업에 새롭게 추가되었습니다. 큰 워크피스가 많은 반도체, 반도체 제조 장치, 금형 등의 측정에 활용할 수 있습니다.
특수 대응 대형 타입 Opt-scope Rex
동경정밀 고유의 고속 전용 알고리즘 DEAP를 탑재한 나노 레벨의 표면 특성을 측정하는 백색 간섭 현미경 Opt-scope 시리즈. 이번에 새롭게 추가된 특수 대응 대형 타입 Opt-scope Rex는 고정밀 측정이 가능할 뿐만 아니라 전동 XY 스테이지의 구동 범위를 400㎟까지 확장 (최대 600㎟까지 대응 가능) 함으로써 보다 광범위한 표면 특성 평가를 실현합니다. 크기가 큰 경우가 많은 반도체, 반도체 제조 장치, 금형 등의 측정에 활용할 수 있습니다.
최대 워크 높이 102mm
※ 더 높은 높이도 대응가능
최대 워크 적재 중량 30kg
※ 더 무거운 중량도 대응가능
스테이지 옵션, 상판 커스터마이즈
※ 사이즈 변경, 나사 구멍 가공 등 대응가능
XY스테이지 스테이지 가변대응
※ 가로세로 길이도 가능
※ 장치 외형 치수는 스테이지 사이즈에 따름
패시브 방진대
※ 액티브 방진대에도 대응
PC, 각 축 제어 유닛을 수납
※ 유닛 구성에 따라 전부 수납 할 수 없는 경우가 있습니다.
사양과 특장점
동경정밀만의 포락선/절대 위상 검출 알고리즘 DEAP (Algorithm for Detection of Envelope and Absolute Phase)를 탑재. 보다 넓은 측정 범위에서 포락선을 고감도로 산출합니다. DEAP의 측정 노이즈 저감효과로 인해 기존에 제대로 측정할 수 없었던 기계 가공 부품의 경사면에서도 더욱 선명한 형상 데이터를 취득할 수 있습니다.
독자적인 백색 간섭 프린지 피크 검출 방법 DEAP
DEAP(Algorithm for Detection of Envelope and Absolute Phase)는 동경정밀 독자의 포락선/절대 위상 검출 알고리즘입니다. PSI(상위 시프트 간섭법)보다 넓은 측정 범위를 가지며, VSI(수직주사형 간섭법)보다 높은 분해능과 넓은 측정 범위로 포락선을 더욱 고감도로 산출합니다. DEAP의 측정 노이즈 저감효과로 압도적인 실효 분해능을 구현함으로써, 기존에 제대로 측정할 수 없었던 기계 가공 부품의 경사면에서도 더욱 선명한 형상 데이터를 얻을 수 있습니다.
고속 카메라 옵션 NEW 스캔 속도가 6배 증가※
정밀도에 따라 선택 가능한 2개의 모드. 고속 모드가 더욱 빨라졌습니다. ※ 1 권장 화소수로 사용하는 경우
