부대설비
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Dicing Machine 공정을 지원하는 항온수 장치와 자동 세정 시스템 및 Probing Machine의 공정을 지원하는 제품입니다.
웨이퍼 프로버 · 수냉식 저온 칠러
웨이퍼 프로버 · 공냉식 저온 칠러
웨이퍼 프로버 · 공냉식 저온 칠러
대유량 대응 첨가제 점적 장치
CO₂Bubbler
극소유량 첨가제 투입 장치
절삭수 리사이클
절삭수 재활용 칠러 장치
항온수 장치
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