리니어 시리즈 측정기 : SURFCOM CREST DX/SD
세계 최고 수준의 고정밀도/고속 측정/고분해능을 구현
서프컴CREST DX
특징
고안정배율 광로형 레이저 간섭 센서
•도쿄 정밀의 요소 기술중 하나인 광섬유를 통한 레이저 간섭 측정 시스템을 응용하여, 분해능 0.31 nm의 높은 고안정배율 광로형 레이저 간섭 센서를 개발하여 탑재하였습니다.•다이나믹레인지(Dynamic range)와 해상도 비율은 42백만 : 1도 있으며, 넓은 범위의 윤곽 형상과 그 형상에 숨어있는 미세한 표면 형상을 하나로 추적하여 평가할 수 있는 획기적인 것입니다.
구동부에 리니어 모터(Linear Motor) 탑재(특허 취득 완료)
•리니어 모터를 구동하여 고정밀도/ 고속 이동을 구현하였습니다. •진동을 감소시켜 안정된 고배율 측정이 가능합니다.
한 번의 측정으로 조도(Roughness)와 윤곽을 분석
•고정밀도를 유지하면서 측정 효율을 향상시킬 수 있습니다.측정부의 고속화(200 mm/s)에 의한 처리량 향상
•가로 방향 200 mm, 세로방향 13 mm의 넓은 측정 범위•구동부 경사 장치로 ± 45°의 자동 제어 가능(SURFCOM CREST-T타입)
