● 각종 웨이퍼 사이즈에 적합합니다(3, 4, 5, 6, 8, 12 인치).
● 이동시 고압 공기로 웨이퍼를 부상시키기 때문에 손상 걱정이 없습니다
● 상하 2개의 측정기에 끼워 측정하기 때문에, 변형된 웨이퍼에서도 안정적으로 측정할 수 있습니다.
● 선단자(先端子)의 재질은 루비이며, 그 외 재질(초경도재 등)도 선택할 수 있습니다

φ 6 루비 구형 선단자

측정 데이터의 관리 방법
・USB메모리에 CSV형식으로 저장 가능
・RS-232C통신 기능(옵션)
RS-232C＋데이터 링크 소프트웨어(Microsoft Excel 추가 기능)의 결합을 통하여 측정 결과를 자동으로 PC의 Exce 프로그램에 입력합니다.

품명		WT-425 (3 ～ 8 인치용)	WT-425S (8 & 12 인치용)
상품 코드		4251863	4252665
정밀도 (온도 20℃±1℃)		지시 정밀도：±0.8 μm／스트로크3 mm이내 반복 정밀도：0.2 μm (2σ)
측정부	검출기	치수
	측정력	0.3～2.0 N(30 ～ 200 gf)
	지원하는 웨이퍼 직경	φ3”, φ4”, φ5”, φ6”, φ8”	φ8”, φ12”
	리트랙트 스트로크	5 mm～
	치수	320 (W) ×320 (D) ×357 (H) mm	570 (W) ×550 (D) ×357 (H) mm
표시 유닛	형식	MINICOM-XD
	표시부	3.5인치 TFT컬러LCD
	표시 범위	±999,999.9 μm
	분해능	0.1 μm
	표시 단위	mm, μm에서 선택
	전원	DC24V, 0.5 A
	소비 전력	5 W

3 ～ 8 인치용

8 ～ 12 인치용