광학측정기기 : 비접촉 3차원 표면 조도(roughness) 및 형상 측정기
백색 간섭의 원리를 이용하여 비접촉으로 단시간에 작업 형상 면의 전체를 3차원(3D)으로 측정 및 분석 할 수 있습니다. 베어링(bearing) 등의 슬라이딩(sliding)면(높은 연마면)의 3차원 조도/ 손상/ 마모 분석에서부터 숫돌이나 매우 단단한 절삭 날의 끝부분을 형상 평가, 반도체 웨이퍼(wafer)의 표면 결함 감지까지 다양한 응용프로그램을 지원합니다.
Opt-scope R
특징
최대 5개의 렌즈를 탑재할 수 있는 리볼버(Revolver)를 표준으로 내장
다양한 렌즈 군을 결합하여 작업이나 목적에 맞는 최적의 측정이 가능합니다. (R 모델)
전동 XY 단계 및 스티칭(Stitching) 기능을 탑재하여 더욱 넓은 범위에서 측정이 가능
25 mm 또는 50 mm 전동 스테이지를 이용하여 "임의의 장소"를 "임의의 순서"로, "복수의 장소” 측정을 연속적으로 실행합니다. 또한 스티칭 기능을 이용하여 간섭 렌즈의 시야에 들어 가지 않는 광범위한 측정이 가능합니다.
비접촉. 고분해능. 광범위.
Opt-scope (옵트 스코프)는 0.01 nm의 고분해능.
좁은 범위의 미세 조도 분석에서부터 광범위한 파장 형상 분석에 이르기까지 다양한 응용이 가능합니다.
"비접촉" 및 "단시간"에 작업 형상의 면 전체를 3차원으로 평가합니다.
ISO25178-2에 준거
기계 가공면의 표면 성상을 비접촉으로 3D 측정 및 평가
당사의 독자적인 기술로, 기존의 백색 간섭 현미경으로 측정하기 어려웠던 기계 가공면의 형상 데이터를 보다 선명하게 얻을 수 있게 되었습니다. 고연마 표면 및 MEMS 미세 형상 측정에서부터 자동차 부품 등 기계 가공 부품의 측정에 이르기까지 측정 대상의 폭이 확대되었습니다.
평가 및 분석 예시
3차원 조도 분석 예시
임의 단면의 2차원조도 분석 예시
미세 형상 분석 예시
윤곽 분석 (Contour)/(Advanced Contour)
그레인 분석(Grain & Particle)
