광학측정기기 : Opt-measure
고정밀도, 넓은 온도 범위, 컴팩트 센서 헤드(compact sensor head).
새로운 광원 및 간섭법을 이용한 비접촉 변위 센서입니다.
Opt-measure
특징
고정밀도 거칠기 측정
새로운 광원 및 새로운 간섭법을 적용하였으며, 거친 표면에서 반사되는 산란광을 이용하여 측정을 하기 때문에, 거울이나 코너 큐브(Corner cube)가 필요 없습니다. 직접 반사로 측정할 수 있습니다.
다지점 모니터링
16 ch의 센서를 표준으로 내장하였으며, 센서와 컨트롤러 사이의 케이블은 최대 1,000 m까지 연장이 가능하기 때문에, 실험 장치의 다지점 변위를 측정하는데 적합합니다.
고정밀도
새로운 간섭법을 적용하여 직선성: ± 1 μm, 반복 정밀도(2 σ )：0.1 μm 를 구현하였습니다.
저온도 상승
온도 안정화 광학 장치를 통하여 온도 상승을 억제하며, 20~30℃의 현장 환경하에서 높은 정밀도를 구현합니다. ± 0.9 μm @ 25 ± 5 ℃
내환경성 및 매우 작은 센서 헤드
전자 부품을 전혀 포함되지 않은 작은 센서 헤드를 통하여, 방사선 환경이나 강한 자기장, 전자파 노이즈(noise) 환경에서도 안정되게 측정할 수 있습니다.
