검출기(특허 취득 완료) 도쿄정밀이 독자적으로 개발한 <듀얼 센서 기술>(특허 취득 완료)이 고정밀도화된 기술을 탑재한 세계 최초의 신형 하이브리드 검출기입니다. 기존의 검출기와 달리 넓은 범위에 안정된 정밀도를 나타내는 리니어 스케일과 범위과 좁고 고분해능 차동 인덕턴스(inductance)의 다른 2가지 센서를 듀얼화 하였습니다. 이 두 개의 센서를 측정시에 동시 감지하여 센서의 잠재력을 극대화합니다. 또한 신형 하이브리드 검출기는 당사의 기존 장비를 이용하는 고객도 사용하실 수 있도록, 기존의 리니어 시리즈 (DX2 / SD2 이상)와도 호환됩니다.

고배율/ 광범위 측정을 지원하는 조도 측정 검출기입니다. 검출기의 외경은 14 mm로 측정 범위 1000 μm, 측정 배율 50 만배까지 지원하며, 자동 정지 기능이 있어 상향 측정과 횡적 추적 측정도 가능합니다.

리니어 스케일을 탑재한 범용 타입의 검출기와 반도체 레이저 광회절 스케일을 탑재한 고정밀도 타입의 검출기에서 선택할 수 있습니다.